集成電路的制程首先要將純化的氧化硅制成硅晶柱、切成薄圓片的晶圓，再將晶圓切割成若干個晶粒，經(jīng)封裝測試后即成為集成電路。封測過程中，需要電性檢測與多項檢驗(yàn)，檢測無誤后進(jìn)行封裝，以確保晶片不受外在環(huán)境如水氣、灰塵、靜電等影響，達(dá)到正常運(yùn)作并散熱。然而，集成電路的封裝形式繁多，每種封裝所檢測的內(nèi)容不盡相同，如何正確掌握并有效管理制程中的大數(shù)據(jù)，成為產(chǎn)能提升一大要點(diǎn)。
臺達(dá)以多年產(chǎn)業(yè)整合經(jīng)驗(yàn)，近期為某半導(dǎo)體廠商導(dǎo)入統(tǒng)計制程管制系統(tǒng)，提升管理與制程效率。此客戶擁有多個廠區(qū)，分別負(fù)責(zé)將生產(chǎn)的晶圓晶粒量測及封裝成為集成電路，所有廠區(qū)的整體數(shù)據(jù)量非常龐大。臺達(dá)在了解客戶需求后，為客戶訂定設(shè)備通訊規(guī)格、提供統(tǒng)計制程管制系統(tǒng)的安裝與教學(xué)，同時結(jié)合工廠制造執(zhí)行系統(tǒng)，匯集晶圓量測廠與封裝廠的大數(shù)據(jù)上傳至云端。使用者可快速登入及通過簡易操作界面，實(shí)時瀏覽監(jiān)控制程數(shù)據(jù)，隨時掌握異常事件并實(shí)時排除。
此案例中，應(yīng)用臺達(dá)的統(tǒng)計制程管制系統(tǒng) DIASPC，搭配客戶的工廠制造執(zhí)行系統(tǒng)，通過標(biāo)準(zhǔn)化的通訊采集晶圓到集成電路的量測與封裝生產(chǎn)數(shù)據(jù)，將所有數(shù)據(jù)整合上傳分析，并將數(shù)據(jù)以多樣化圖表呈現(xiàn)，達(dá)到實(shí)時監(jiān)控制程。將集成電路制程系統(tǒng)化管理后，不僅大幅縮短數(shù)據(jù)收集與生產(chǎn)時間，也可同時監(jiān)看跨廠數(shù)據(jù)，快速聚焦問題，提升生產(chǎn)良率。
臺達(dá)的統(tǒng)計制程管制系統(tǒng) DIASPC 為客戶帶來的效益及產(chǎn)品優(yōu)勢主要包括：
整合多種系統(tǒng)，設(shè)備之間無隔閡
將各地分散的晶圓晶粒與集成電路生產(chǎn)測試設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)化，串接客戶既有的系統(tǒng)，無須花費(fèi)額外時間及成本建置成套硬體設(shè)備即可系統(tǒng)化管理，有效延展現(xiàn)有設(shè)備效能。
海量數(shù)據(jù)快速上傳
各式封裝的集成電路生產(chǎn)與量測過程時的龐大數(shù)據(jù)資料，在客戶的工廠制造執(zhí)行系統(tǒng)與臺達(dá)統(tǒng)計制程管制系統(tǒng) DIASPC 整合后，經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)化通訊迅速上拋云端，達(dá)到實(shí)時監(jiān)控所有封裝制程。
分析大數(shù)據(jù)，完善質(zhì)量管理
大數(shù)據(jù)采集后由統(tǒng)計制程管制系統(tǒng) DIASPC 計數(shù)化、計量化分析，協(xié)助客戶快速聚焦集成電路封測過程異常、實(shí)時發(fā)現(xiàn)問題根源并發(fā)出通知，使用者可快速反應(yīng)并解決問題，降低損失。統(tǒng)計制程管制系統(tǒng) DIASPC 也可系統(tǒng)化匯整報表，減少手動整理及輸入數(shù)據(jù)的時間，完善質(zhì)量管理。
單一平臺，跨廠管理輕松來
不同集成電路封裝形式與工廠的封測數(shù)據(jù)通過同一平臺瀏覽，便捷所有廠區(qū)數(shù)據(jù)整合與個別管理。簡單、友好的操作界面可縮短使用者學(xué)習(xí)時間，快速登入系統(tǒng)執(zhí)行實(shí)時質(zhì)量監(jiān)控，搭配多樣化報表，能快速匯整跨廠數(shù)據(jù)進(jìn)而優(yōu)化后續(xù)管理。
高效管理是高質(zhì)量與高競爭力的基礎(chǔ)，臺達(dá)的統(tǒng)計制程管制系統(tǒng) DIASPC 處理大數(shù)據(jù)條理井然，多樣化報表呈現(xiàn)數(shù)據(jù)分析，提升生產(chǎn)良率及效率，并達(dá)到多區(qū)、跨廠管理。
圖1 臺達(dá)以多年產(chǎn)業(yè)整合經(jīng)驗(yàn)，近期為某半導(dǎo)體廠導(dǎo)入統(tǒng)計制程管制系統(tǒng)，提升集成電路的生產(chǎn)管理與制程效率
圖2 臺達(dá)的統(tǒng)計制程管制系統(tǒng) DIASPC 整合工廠制造執(zhí)行系統(tǒng)匯集大數(shù)據(jù)上傳至云端，并進(jìn)行后續(xù)數(shù)據(jù)分析、提升生產(chǎn)良率，實(shí)現(xiàn)跨廠管理
