1、 第三代半導(dǎo)體 SIC 材料的性能優(yōu)勢
第一代半導(dǎo)體材料主要是指硅(Si)、鍺元素(Ge)半導(dǎo)體材料,應(yīng)用極為普遍,包括集成電路、電子信息網(wǎng)絡(luò)工程、電腦、手機、電視、航空航天、各類軍事工程和迅速發(fā)展的新能源、硅光伏產(chǎn)業(yè)中都得到了極為廣泛的應(yīng)用;
第二代半導(dǎo)體材料主要是指化合物半導(dǎo)體材料,如砷化鎵(GaAs)、銻化銦(InSb),主要用于制作高速、高頻、大功率以及發(fā)光電子器件(LED),是制作高性能微波、毫米波器件及發(fā)光器件的優(yōu)良材料。
Si 基器件在 600V 以上高電壓以及高功率場合達(dá)到其性能的極限;為了提升在高壓/高功率下器件的性能,第三代半導(dǎo)體材料 SiC (寬禁帶)應(yīng)運而生;
第三代半導(dǎo)體主要是 SIC 和 GaN,第二代和第三代也稱作化合物半導(dǎo)體,即兩種元素組成的半導(dǎo)體材料,區(qū)別于硅/鍺等單質(zhì)半導(dǎo)體:
SIC 材料具有明顯的性能優(yōu)勢。SiC 和 GaN 是第三代半導(dǎo)體材料,與第一二代半導(dǎo)體材料相比,具有更寬的禁帶寬度、更高的擊穿電場、更高的熱導(dǎo)率等性能優(yōu)勢,所以又叫寬禁帶半導(dǎo)體材料,特別適用于 5G 射頻器件和高電壓功率器件。
2、 第三代半導(dǎo)體 SIC 器件的性能優(yōu)勢
SIC 的功率器件如 SIC MOS,相比于 Si 基的 IGBT,其導(dǎo)通電阻可以做的更低,體現(xiàn)在產(chǎn)品上面,就是尺寸降低,從而縮小體積,并且開關(guān)速度快,功耗相比于傳統(tǒng)功率器件要大大降低。
在電動車領(lǐng)域,電池重量大且價值量高,如果在 SIC 器件的使用中可以降低功耗,減小體積,那么在電池的安排上就更游刃有余;同時在高壓直流充電樁中應(yīng)用 SIC 會使得充電時間大大縮短,帶來的巨大社會效益。
根據(jù) Cree 提供的測算: 將純電動車 BEV 逆變器中的功率組件改成 SIC 時, 大概可以減少整車功耗 5%-10%;這樣可以提升續(xù)航能力,或者減少動力電池成本。
總結(jié)來說,SiC 器件具備的多種優(yōu)勢將帶動電動車?yán)m(xù)航能力的提升:
1). 高電能轉(zhuǎn)換效率:SiC 屬于寬能隙材料, 擊穿場強度大比 Si 基半導(dǎo)體材料更適用在高功率的應(yīng)用場景;
2). 高電能利用效率:SiC 屬于寬能隙材料, 擊穿場強度大比 Si 基半導(dǎo)體材料更適用在高功率的應(yīng)用場景;
3). 低無效熱耗:開關(guān)頻率高, 速度快, 所產(chǎn)生無效的熱耗減少, 使的電路、散熱系統(tǒng)得以簡化。
2019 年國際上的功率半導(dǎo)體巨頭不斷推出新的基于 SIC 材料的功率器件,且推出的幾款 SiC SBD 及 MOSFET 均符合車規(guī)級(AEC-Q101)標(biāo)準(zhǔn),這些產(chǎn)品應(yīng)用于新能源車或者光伏領(lǐng)域等功率器件需求場景,將顯著減少功耗,提高轉(zhuǎn)化效率。
3、 政策支持 VS 產(chǎn)業(yè)成熟度提升
2014 年初,美國宣布成立“下一代功率電子技術(shù)國家制造業(yè)創(chuàng)新中心”,期望通過加強第三代半導(dǎo)體技術(shù)的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,使美國占領(lǐng)下一代功率電子產(chǎn)業(yè)這個正出現(xiàn)的規(guī)模最大、發(fā)展最快的新興市場,并為美國創(chuàng)造出一大批高收入就業(yè)崗位。
日本建立了“下一代功率半導(dǎo)體封裝技術(shù)開發(fā)聯(lián)盟”由大阪大學(xué)牽頭,協(xié)同羅姆、三菱電機、松下電器等 18 家從事 SiC 和 GaN 材料、器件以及應(yīng)用技術(shù)開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化的知名企業(yè)、大學(xué)和研究中心;
歐洲啟動了產(chǎn)學(xué)研項目“LAST POWER”,由意法半導(dǎo)體公司牽頭,協(xié)同來自意大利、德國等六個歐洲國家的私營企業(yè)、大學(xué)和公共研究中心,聯(lián)合攻關(guān) SiC和 GaN 的關(guān)鍵技術(shù)。
我國的“中國制造 2025”計劃中明確提出要大力發(fā)展第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。2015 年 5 月,中國建立第三代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用聯(lián)合創(chuàng)新基地,搶占第三代半導(dǎo)體戰(zhàn)略新高地;國家科技部、工信部、北京市科委牽頭成立第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA),對推動我國第三代半導(dǎo)體材料及器件研發(fā)和相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。
行業(yè)發(fā)展的瓶頸目前在于 SIC 襯底成本高:目前 SIC 的成本是 Si 的 4-5 倍,預(yù)計未來 3-5 年價格會逐漸降為 Si 的 2 倍左右,SIC 行業(yè)的增速取決于 SIC 產(chǎn)業(yè)鏈成熟的速度,目前成本較高,且 SIC 器件產(chǎn)品參數(shù)和質(zhì)量還未經(jīng)足夠驗證;
SIC MOS 的產(chǎn)品穩(wěn)定性需要時間驗證:根據(jù)英飛凌 2020 年功率半導(dǎo)體應(yīng)用大會上專家披露,目前 SiC MOSFET 真正落地的時間還非常短,在車載領(lǐng)域才剛開始商用(Model 3 中率先使用了 SIC MOS 的功率模塊),一些諸如短路耐受時間等技術(shù)指標(biāo)沒有提供足夠多的驗證,SIC MOS 在車載和工控等領(lǐng)域驗證自己的穩(wěn)定性和壽命等指標(biāo)需要較長時間;
根據(jù) Yole 預(yù)測,SIC 和 GaN 電力電子器件(注意是 GaN 在電力電子中的應(yīng)用,不包括在高頻射頻器件)2023 年在整體功率器件滲透率分別為 3.75%和 1%;驅(qū)動因素是新能源汽車新能源發(fā)電以及快充。
目前國內(nèi)外 SIC 產(chǎn)業(yè)鏈日趨成熟,成本持續(xù)下降,下游接受度也開始提升,目前整個產(chǎn)業(yè)鏈處于行業(yè)爆發(fā)的前夜。
4、SiC 產(chǎn)業(yè)鏈總結(jié)
SIC 產(chǎn)業(yè)鏈分為三大環(huán)節(jié):上游的 SIC 晶片和外延→中間的功率器件的制造(包含經(jīng)典的 IC 設(shè)計→制造→封裝三個小環(huán)節(jié))→下游工控、新能源車、光伏風(fēng)電等應(yīng)用。目前上游的晶片基本被美國 CREE 和 II-VI 等美國廠商壟斷;國內(nèi)方面,SiC 晶片商山東天岳和天科合達(dá)已經(jīng)能供應(yīng) 2 英寸~6 英寸的單晶襯底,且營收都達(dá)到了一定的規(guī)模(今年均會超過 2 億元 RMB);SiC 外延片:廈門瀚天天成與東莞天域可生產(chǎn) 2 英寸~6 英寸 SiC 外延片。
國外 SIC 功率器件玩家:
傳統(tǒng)的功率器件廠商包括英飛凌、意法半導(dǎo)體、三菱電機、富士電機;借助SIC 材料介入 SIC 器件的 CREE;
國內(nèi) SIC 功率器件玩家:泰科天潤,中電科 55 所,基本半導(dǎo)體,三安集成,華潤微等。
SIC 晶片、外延和設(shè)備:國外 CREE 和 II-VI 占據(jù)了 SIC 片 70%以上的份額,國內(nèi)山東天岳和天科合達(dá)已經(jīng)初具規(guī)模;露笑科技 2019 年 11 月公告,露笑科技將為中科鋼研、國宏中宇主導(dǎo)的碳化硅產(chǎn)業(yè)化項目定制約 200 臺碳化硅長晶爐,設(shè)備總采購金額約 3 億元,同時露笑科技另外 2020 年 8 月公告計劃與合肥合作投資 100 億元建設(shè)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園,從 SIC 設(shè)備切入襯底和外延等環(huán)節(jié)。
SIC 器件:10 年 20 倍成長,國內(nèi)全面布局
1、 應(yīng)用:新能源車充電樁和光伏等將率先采用
SiC 具有前述所說的各種優(yōu)勢,是高壓/高功率/高頻的功率器件相對理想的材料, 所以 SiC 功率器件在新能源車、充電樁、新能源發(fā)電的光伏風(fēng)電等這些對效率、節(jié)能和損耗等指標(biāo)比較看重的領(lǐng)域,具有明顯的發(fā)展前景。
高頻低壓用 Si-IGBT,高頻高壓用 SiC MOS,電壓功率不大但是高頻則用GaN。當(dāng)?shù)皖l、高壓的情況下用 Si 的 IGBT 是最好,如果稍稍高頻但是電壓不是很高,功率不是很高的情況下,用 Si 的 MOSFET 是最好。如果既是高頻又是高壓的情況下,用 SiC 的 MOSFET 最好。電壓不需要很大,功率不需要很大,但是頻率需要很高,這種情況下用 GaN 效果最佳。
以新能源車中應(yīng)用 SIC MOS 為例,根據(jù) Cree 提供的測算: 將純電動車 BEV逆變器中的功率組件改成 SIC 時, 大概可以減少整車功耗 5%-10%;這樣可以提升續(xù)航能力,或者減少動力電池成本。
同時 SIC MOS 在快充充電樁等領(lǐng)域也將大有可為�?焖俪潆姌妒菍⑼獠拷涣麟�,透過 IGBT 或者 SIC MOS 轉(zhuǎn)變?yōu)橹绷麟? 然后直接對新能源汽車電池進(jìn)行充電,對于損耗和其自身占用體積問題也很敏感,因此不考慮成本,SIC MOS比 IGBT 更有前景和需求,由于目前 SIC 的成本目前是 Si 的 4-5 倍,因此會在高功率規(guī)格的快速充電樁首先導(dǎo)入。在光伏領(lǐng)域,高效、高功率密度、高可靠和低成本是光伏逆變器未來的發(fā)展趨勢,因此基于性能更優(yōu)異的 SIC 材料的光伏逆變器也將是未來重要的應(yīng)用趨勢。
SIC 肖特基二極管的應(yīng)用比傳統(tǒng)的肖特基二極管同樣有優(yōu)勢。碳化硅肖特基二極管相比于傳統(tǒng)的硅快恢復(fù)二極管(SiFRD),具有理想的反向恢復(fù)特性。在器件從正向?qū)ㄏ蚍聪蜃钄噢D(zhuǎn)換時,幾乎沒有反向恢復(fù)電流,反向恢復(fù)時間小于 20ns,因此碳化硅肖特基二極管可以工作在更高的頻率,在相同頻率下具有更高的效率。
另一個重要的特點是碳化硅肖特基二極管具有正的溫度系數(shù),隨著溫度的上升電阻也逐漸上升,這使得 SIC 肖特基二極管非常適合并聯(lián)實用,增加了系統(tǒng)的安全性和可靠性�?偨Y(jié)來看,SIC 肖特基二極管具有的特點如下:1)幾乎無開關(guān)損耗;2)更高的開關(guān)頻率;3)更高的效率;4)更高的工作溫度;5)正的溫度系數(shù),適合于并聯(lián)工作;6)開關(guān)特性幾乎與溫度無關(guān)。
根據(jù) CASA 的統(tǒng)計,業(yè)內(nèi)反應(yīng) SiC SBD 實際的批量采購成交價已經(jīng)降至 1元/A 以下,耐壓 600-650V 的產(chǎn)品業(yè)內(nèi)批量采購價約為 0.6 元/A,而耐壓 1200V的產(chǎn)品業(yè)內(nèi)批量采購價約為 1 元/A。
如上表所示,2019 年部分 SIC 肖特基二極管產(chǎn)品價格實現(xiàn)了 20%-35%的降幅,SIC 二極管價格的持續(xù)降低以及和 Si 二極管價差的縮小將進(jìn)一步促進(jìn) SIC 二極管的應(yīng)用。
2、 門檻:SIC 器件的壁壘和難點
SIC 難度大部分集中在 SIC 晶片的長晶和襯底制作方面,但是要做成器件,也有一些自身的難點,主要包括:
1、外延工藝效率低:碳化硅的氣相同質(zhì)外延一般要在 1500℃以上的高溫下進(jìn)行。由于有升華的問題,溫度不能太高,一般不能超過 1800℃,因而生長速率較低。液相外延溫度較低、速率較高,但產(chǎn)量較低 。
2、 歐姆接觸的制作:歐姆接觸是器件器件制作中十分重要的工藝之一,要形成好的碳化硅的歐姆接觸在實際中還是有較大難度;
3、配套材料的耐高溫:碳化硅芯片本身是耐高溫的,但與其配套的材料就不見得能夠耐得住 600℃以上的溫度。所以整體工作溫度的提高,需要不斷的進(jìn)行配套材料方面創(chuàng)新。
SIC 的優(yōu)異性能大家認(rèn)識的較早,之所以最近幾年才有較好的進(jìn)展主要是因為 SIC 片和 SIC 器件兩個方面相比傳統(tǒng)的功率器件均有一些難點,器件生產(chǎn)的高難度高成本加上碳化硅片制造的高難度(后面會提及),兩者互為循環(huán),一定程度上制約了過去幾年 SIC 應(yīng)用的推廣速度,我們認(rèn)為隨著產(chǎn)業(yè)鏈逐漸成熟,SIC正處于爆發(fā)的前夜,拐點漸行漸近。
3、 空間&增速:SIC 器件未來 5-10 年復(fù)合 40%增長
IHS 預(yù)計未來 5-10 年 SIC 器件復(fù)合增速 40%:根據(jù) IHSMarkit 數(shù)據(jù),2018年碳化硅功率器件市場規(guī)模約 3.9 億美元,受新能源汽車龐大需求的驅(qū)動,以及光伏風(fēng)電和充電樁等領(lǐng)域?qū)τ谛屎凸囊筇嵘�,預(yù)計到 2027 年碳化硅功率器件的市場規(guī)模將超過 100 億美元,18-27 年 9 年的復(fù)合增速接近 40%。
滲透率角度測算 SIC MOS 器件市場空間:(SIC MOS 只是 SIC 器件的一種)SIC MOS 器件的下游和 IGBT 重合度較大,因此,驅(qū)動 IGBT 行業(yè)空間高成長驅(qū)動因素如車載、充電樁、工控、光伏風(fēng)電以及家電市場,也都是 SIC MOS 功率器件將來要涉足的領(lǐng)域;根據(jù)我們之前系列行業(yè)報告的大致測算,2019 年 IGBT 全球 58 億美金,中國 22 億美金空間,在車載和充電樁和工控光伏風(fēng)電等的帶動下,預(yù)計 2025 年 IGBT 全球 120 億美金,中國 60 億美金。
SIC MOS 器件的滲透率取決于其成本下降和產(chǎn)業(yè)鏈成熟的速度,根據(jù)英飛凌和國內(nèi)相關(guān)公司調(diào)研和產(chǎn)業(yè)里的專家的判斷來看,SIC MOS 滲透 IGBT 的拐點可能在 2024 年附近。預(yù)計 2025 年全球滲透率 25%,則全球有 30 億美金 SIC MOS 器件市場,中國按照 20%滲透率 2025 年則有 12 億美金的 SIC MOS 空間。即不考慮SIC SBD 和其他 SIC 功率器件,僅測算替代 IGBT 那部分的 SIC MOS 市場預(yù)計2025 年全球 30 億美金,相對 2019 年不到 4 億美金有超過 7 倍成長,且 2025-2030年增速延續(xù)。
4、 格局:SIC 器件的競爭格局
目前,碳化硅器件市場還是以國外的傳統(tǒng)功率龍頭公司為主,2017 年全球市場份額占比前三的是科銳,羅姆和意法半導(dǎo)體,其中 CREE 從 SIC 上游材料切入到了 SIC 器件,相當(dāng)于其擁有了從上游 SIC 片到下游 SIC 器件的產(chǎn)業(yè)鏈一體化能力。
國內(nèi)的企業(yè)均處于初創(chuàng)期或者剛剛介入 SIC 領(lǐng)域,包括傳統(tǒng)的功率器件廠商華潤微、捷捷微電、揚杰科技,從傳統(tǒng)的硅基 MOSFET、晶閘管、二極管等切入 SIC 領(lǐng)域,IGBT 廠商斯達(dá)半導(dǎo)、比亞迪半導(dǎo)體等,但國內(nèi)當(dāng)前的 SIC 器件營收規(guī)模都比較�。〒P杰科技最新披露 SIC 營收 2020 年上半年 19.28 萬元左右);
未上市公司和單位中做的較好的有前面產(chǎn)業(yè)鏈總結(jié)中提到的一些,包括:
泰科天潤:可以量產(chǎn) SiC SBD,產(chǎn)品涵蓋 600V/5A~50A、1200V/5A~50A 和1700V/10A 系列;并且早在 2015 年,泰科天潤就宣布推出了一款高功率碳化硅肖特基二極管產(chǎn)品,是從事 SIC 器件的較純正的公司;
中電科 55 所:國內(nèi)從 4-6 寸碳化硅外延生長、芯片設(shè)計與制造、模塊封裝實現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈的單位;
深圳基本半導(dǎo)體:成立于 2016 年,由清華大學(xué)、浙江大學(xué)、劍橋大學(xué)等國內(nèi)外知名高校博士團隊創(chuàng)立,專注于 SIC 功率器件,也是深圳第三代半導(dǎo)體研究院發(fā)起單位之一,目前已經(jīng)開始推出其 1200V 的 SiC MOSFET 產(chǎn)品。
SIC 晶片:高成長高壁壘,國產(chǎn)奮起直追
1、 成長分析
如前分析所述,碳化硅晶片主要用來做成高壓功率器件和高頻功率器件:SIC片主要分為兩種類型:導(dǎo)電型的 SIC 晶片經(jīng)過 SIC 外延后制作高壓功率器件;半絕緣型的 SIC 晶片經(jīng)過 GaN 外延后制 5G 射頻器件(特別是 PA);
碳化硅晶片主要用于大功率和高頻功率器件:2018 年氮化鎵射頻器件全球市場規(guī)模約 4.2 億美元(約 28 億元人民幣),隨著 5G 通訊網(wǎng)絡(luò)的推進(jìn),氮化鎵射頻器件市場將迅速擴大,Yole 預(yù)計到 2023 年,全球射頻氮化鎵器件市場規(guī)模將達(dá)到 13 億美元(約 91 億元人民幣);繼續(xù)引用前面 IHS 的預(yù)測,則 SIC功率器件將由 2019 年的 4.5 億美元到 2025 年接近 30 億美元。
第三代半導(dǎo)體 GaN 在高頻射頻領(lǐng)域的市場規(guī)模:根據(jù) Yole 的數(shù)據(jù),2017 年氮化鎵射頻市場規(guī)模為 4 億美元,將于 2023 年增長至接近 13 億美元,復(fù)合增速為 22%,下游應(yīng)用結(jié)構(gòu)整體保持穩(wěn)定,以通訊與軍工為主,二者合計占比約為 80%。而整體射頻器件的市場空間在 2018-2025 在 8%左右,GaN 射頻器件增速遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于射頻器件整體市場的增長。
導(dǎo)電型碳化硅單晶襯底材料是制造碳化硅功率半導(dǎo)體器件的基材,根據(jù)中國寬禁帶功率半導(dǎo)體及應(yīng)用產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的測算:
2017-2020 年市場需求:2017 年 4 英寸 10 萬片、6 英寸 1.5 萬片→預(yù)計到 2020年 4 英寸保持 10 萬片、6 英寸超過 8 萬片。
2020-2025 年市場需求:4 英寸逐步從 10 萬片市場減少到 5 萬片,6 英寸晶圓將從 8 萬片增長到 20 萬片;
2025~2030 年:4 英寸晶圓逐漸退出市場,6 英寸晶圓將增長至 40 萬片。
半絕緣碳化硅具備高電阻的同時可以承受更高的頻率,主要應(yīng)用在高頻射頻器件;同樣根據(jù)中國寬禁帶功率半導(dǎo)體及應(yīng)用產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的測算:
2017 年市場需求:全球半絕緣碳化硅晶片的市場需求約 4 萬片;2020 年:4英寸半絕緣 SIC 維持 4 萬片、6 英寸半絕緣 SIC 晶片 5 萬片;
2025 年市場需求:預(yù)計 4 英寸半絕緣到 2 萬片、6 英寸到 10 萬片;
2025-2030 年市場需求:4 英寸半絕緣襯底逐漸退出市場,而 6 英寸需求到 20萬片。
整體 SIC 晶片全球市場空間預(yù)計從 2020 的 30 億 RMB 增長至 2027年 150 億元 RMB,作為對比,2018 年全球硅片市場 90 億美元,國內(nèi)硅片市場約130 億元(近 8 年復(fù)合增長 5%-7%)。
2、 壁壘分析
SIC 晶片的壁壘較高,主要體現(xiàn)在:
SIC 晶片的核心參數(shù)包括微管密度、位錯密度、電阻率、翹曲度、表面粗糙度等。在密閉高溫腔體內(nèi)進(jìn)行原子有序排列并完成晶體生長、同時控制參數(shù)指標(biāo)是復(fù)雜的系統(tǒng)工程,將生長好的晶體加工成可以滿足半導(dǎo)體器件制造所需晶片又涉及一系列高難度工藝調(diào)控;隨著碳化硅晶體尺寸的增大及產(chǎn)品參數(shù)要求的提高,生產(chǎn)參數(shù)的定制化設(shè)定和動態(tài)控制難度會進(jìn)一步提升。因此,穩(wěn)定量產(chǎn)各項性能參數(shù)指標(biāo)波動幅度較低的高品質(zhì)碳化硅晶片的技術(shù)難度很大,主要體現(xiàn)在下面幾個方面:
1、精確調(diào)控溫度:碳化硅晶體需要在 2,000℃以上的高溫環(huán)境中生長,且在生產(chǎn)中需要精確調(diào)控生長溫度,控制難度極大;
2、容易產(chǎn)生多晶型雜質(zhì):碳化硅存在 200 多種晶體結(jié)構(gòu)類型,其中六方結(jié)構(gòu)的 4H 型(4H-SiC) 等少數(shù)幾種晶體結(jié)構(gòu)的單晶型碳化硅才是所需的半導(dǎo)體材料,在晶體生長過程中需要精確控制硅碳比、生長溫度梯度、晶體生長速率以及氣流氣壓等參數(shù),否則容易產(chǎn)生多晶型夾雜,導(dǎo)致產(chǎn)出的晶體不合格;
3、 晶體擴徑難度大:氣相傳輸法下,碳化硅晶體生長的擴徑技術(shù)難度極大,隨著晶體尺寸的擴大,其生長難度工藝呈幾何級增長;
4、 硬度極大難切割:碳化硅硬度與金剛石接近,切割、研磨、拋光技術(shù)難度大, 工藝水平的提高需要長期的研發(fā)積累;
3、 競爭分析
目前,碳化硅晶片產(chǎn)業(yè)格局呈現(xiàn)美國全球獨大的特點。以導(dǎo)電型產(chǎn)品為例,2018 年美國占有全球碳化硅晶片產(chǎn)量的 70%以上,僅 CREE 公司就占據(jù)60%以上市場份額,剩余份額大部分被日本和歐洲的其他碳化硅企業(yè)占據(jù)。
由于碳化硅材料特殊的物理性質(zhì),其晶體生長、晶體切割、 晶片加工等環(huán)節(jié)的技術(shù)和工藝要求高,需要長期投入和深耕才能形成產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)能力,行業(yè)門檻很高。
后進(jìn)入的碳化硅晶片生產(chǎn)商在短期內(nèi)形成規(guī)�;⿷�(yīng)能力存在較大難度,市場供給仍主要依靠現(xiàn)有晶片生產(chǎn)商擴大自身生產(chǎn)能力,國內(nèi)碳化硅晶片供給不足的局面預(yù)計仍將維持一段時間。









