6月30日，由國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心（簡(jiǎn)稱(chēng)“創(chuàng)新中心”）建設(shè)的國(guó)內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器中試線(xiàn)成功通線(xiàn)。所謂的“中試”，也就是中間階段的試驗(yàn)，在科技成果轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力的過(guò)程中，中試環(huán)節(jié)是少不了的。

該中試線(xiàn)以國(guó)產(chǎn)設(shè)備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機(jī)械研磨、濕法清洗、自動(dòng)化量測(cè)等先進(jìn)傳感器和晶圓級(jí)3D集成技術(shù)的核心工藝能力，同時(shí)為國(guó)產(chǎn)裝備提供驗(yàn)證平臺(tái)，加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)自主可控。

面向新興技術(shù)發(fā)展和市場(chǎng)應(yīng)用需求，創(chuàng)新中心將在12英寸中試線(xiàn)持續(xù)開(kāi)發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關(guān)鍵共性技術(shù)，重點(diǎn)突破光學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)、生物等先進(jìn)傳感器的核心工藝，并推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)品及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化。

12英寸中試線(xiàn)位于上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園內(nèi)，產(chǎn)業(yè)園以智能傳感器為核心，以創(chuàng)新平臺(tái)和龍頭企業(yè)為支撐，伴有精準(zhǔn)的政策助力，發(fā)展傳感器特色工藝，積極培育和引進(jìn)領(lǐng)先的智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈領(lǐng)軍企業(yè)，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)集聚和協(xié)同發(fā)展，力爭(zhēng)將上海嘉定打造成國(guó)內(nèi)傳感器領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)高地。

為什么要中試呢？相關(guān)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，在科技成果產(chǎn)業(yè)化的過(guò)程中，如果沒(méi)有中間階段的試驗(yàn)，它的產(chǎn)業(yè)化成功率只有30%，通過(guò)中試后，這一數(shù)據(jù)就提高到80%。所以，中試的好處是顯而易見(jiàn)的，如果這一步成功后，就基本可以“官宣”量產(chǎn)了。

全球范圍內(nèi)的中高端傳感器領(lǐng)域，先進(jìn)技術(shù)主要掌握在歐美日韓等發(fā)達(dá)國(guó)家手中，例如索尼、三星、博世、德州儀器等都是傳感器行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)。雖然近年中國(guó)傳感器市場(chǎng)規(guī)模年均增長(zhǎng)率超過(guò)10%，發(fā)展相當(dāng)迅速，2019年市場(chǎng)規(guī)模已達(dá)2188.8億元。不過(guò)國(guó)產(chǎn)化率仍然不高，并且由于起步較晚，目前國(guó)產(chǎn)傳感器還是以低端為主。

國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心致力于先進(jìn)傳感器技術(shù)創(chuàng)新，以關(guān)鍵共性技術(shù)的研發(fā)和中試為目標(biāo)，聯(lián)合中國(guó)傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟1000+ 家產(chǎn)業(yè)鏈各領(lǐng)域的代表企業(yè)開(kāi)展共性技術(shù)研發(fā)，形成“產(chǎn)、學(xué)、研、用”協(xié)同創(chuàng)新機(jī)制，加速我國(guó)先進(jìn)傳感器及其相關(guān)應(yīng)用的核心技術(shù)發(fā)展，推動(dòng)智能傳感、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能的生態(tài)體系建設(shè)。