據(jù)公告內(nèi)容顯示，合肥露笑半導(dǎo)體從去年 11 月份破土開工建設(shè)，3 月份一期廠房結(jié)頂，5 月份內(nèi)部公輔設(shè)備開始安裝調(diào)試，6 月份部分設(shè)備開始進(jìn)場安裝。隨著襯底加工設(shè)備、 清洗設(shè)備和測試設(shè)備的逐步到位及加工工藝優(yōu)化，合肥工廠 9 月份基本可實(shí)現(xiàn) 6 英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底片的小批量生產(chǎn)。
技術(shù)方面，露笑科技現(xiàn)已全面掌握了 6 英寸導(dǎo)電型碳化硅晶體生長工藝參數(shù)之間的耦合關(guān)系，確定了各工藝參 數(shù)的優(yōu)值，具備了可重復(fù)、可批量生長碳化硅晶體的設(shè)備及技術(shù)條件。
其中的設(shè)備條件，因?yàn)楣揪褪窃O(shè)備供應(yīng)商，已經(jīng)根據(jù) 工藝的改進(jìn)對長晶爐進(jìn)行了三代的優(yōu)化，目前設(shè)備 100%國產(chǎn)化，一期部分設(shè)備已經(jīng)完成出廠調(diào)試，正在合肥工廠安裝過程中。
公司經(jīng)過了多 輪的參數(shù)優(yōu)化，多家的第三方測試，目前各工藝參數(shù)的優(yōu)值達(dá)到產(chǎn)品應(yīng)用同行業(yè) P 級標(biāo)準(zhǔn)。
據(jù)悉，項(xiàng)目總投資100億元，占地面積88畝，主要建設(shè)第三代功率半導(dǎo)體（碳化硅）的設(shè)備制造、長晶生產(chǎn)、襯底加工、外延制作等產(chǎn)業(yè)鏈的研發(fā)和生產(chǎn)基地。
