截圖自企查查
光刻膠是芯片制造中光刻環(huán)節(jié)的重要材料，目前主要被日美把控，國內(nèi)在光刻膠方面投入研制的廠商主要晶瑞股份、南大光電、上海新陽、徐州博康、北京科華等，那么華為投資的徐州博康在光刻膠方面有何優(yōu)勢，國內(nèi)廠商在光刻膠上的研制進(jìn)展如何？
國內(nèi)唯一 光刻膠單體材料全部自供
徐州博康是集研發(fā)、生產(chǎn)、經(jīng)營中高端光刻膠、光刻膠單體和光刻膠樹脂為主的國家高新技術(shù)企業(yè)，公司專注于光刻膠原材料到成品的自主研發(fā)及生產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)了從單體、光刻膠專用樹脂、光酸劑及終產(chǎn)品光刻膠的國產(chǎn)化自主可控。
徐州博康擁有5000平方研發(fā)中心，研發(fā)團(tuán)隊(duì)200余人，博士和碩士占比50%以上。配有KrF Nikon S204，I9，I12，ACT8 track，日立CDSEM等先進(jìn)光刻檢測設(shè)備，以及其它理化檢測設(shè)備如ICP-MS、HPLC、GC、IR等。
目前實(shí)現(xiàn)的產(chǎn)品線涵蓋193nm/248nm光刻膠單體、193nm/248nm光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產(chǎn)品。 已成功開發(fā)出40+個(gè)中高端光刻膠產(chǎn)品系列，包括多種電子束膠，ArF干法光刻膠， KrF正負(fù)型光刻膠，I線正負(fù)型光刻膠及GHI超厚負(fù)膠，應(yīng)用于IC集成電路制造多個(gè)環(huán)節(jié)，服務(wù)客戶超100家。
與其他半導(dǎo)體光刻膠廠商相比，徐州博康的顯著特色是光刻膠單體材料全部自供，光刻膠單體是光刻膠實(shí)現(xiàn)光刻膠功能最核心的原材料，是卡脖子材料中的卡脖子材料，徐州博康是中國目前唯一可以規(guī)�；a(chǎn)中高端光刻膠單體材料的企業(yè)。
目前國產(chǎn)KrF、ArF光刻膠研制進(jìn)展
半導(dǎo)體光刻膠根據(jù)激光波長不同，可分為g線、i線、KrF、ArF以及EUV光刻膠，對應(yīng)的激光波長依次是436nm、365nm、248nm、193nm，激光波長越短，可實(shí)現(xiàn)的光刻精度越高，目前國內(nèi)暫無廠商研制EUV光刻膠，KrF光刻膠和ArF光刻膠是目前各廠商的研制重點(diǎn)。
這里主要看一下KrF和ArF光刻膠的進(jìn)展。KrF光刻膠方面，徐州博康和北京華科的KrF光刻膠已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，徐州博康的年產(chǎn)值20億的新基地經(jīng)過三年的建設(shè)和爬坡已于2021年6月份正式投產(chǎn)；上海新陽KrF（248nm）厚膜光刻膠產(chǎn)品通過客戶認(rèn)證，并成功取得第一筆訂單；晶瑞股份KrF光刻膠已進(jìn)入客戶測試階段。
ArF光刻膠方面，南大光電ArF光刻膠產(chǎn)品已經(jīng)通過客戶認(rèn)證；上海新陽半導(dǎo)體ArF干法光刻膠啟動(dòng)研發(fā)，預(yù)計(jì)2022實(shí)現(xiàn)少量銷售，2023年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)；徐州博康正在進(jìn)行干法ArF光刻膠中測，濕法ArF光刻膠正在進(jìn)行研發(fā)；北京科華正在進(jìn)行干法ArF光刻膠研發(fā)；晶瑞股份ArF高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動(dòng)。
在國產(chǎn)替代趨勢下，光刻膠作為重要的半導(dǎo)體制造材料，是不可忽視的環(huán)節(jié)，華為哈勃從成立以來，針對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)各個(gè)環(huán)節(jié)做了投資，而此次投資光刻膠似乎是可預(yù)期的。
那么選擇徐州博康，最主要的可能是，不僅僅是它在光刻膠成品上的成績，更為重要的是，它是國內(nèi)唯一可以規(guī)�；a(chǎn)中高端光刻膠單體材料的企業(yè)，就如上文所言，光刻膠單體是實(shí)現(xiàn)光刻膠功能最核心的原材料，是卡脖子材料中的卡脖子材料。
