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目前，我國已成為制造業(yè)大國，但大而不強等問題依然突出。在高端裝備領(lǐng)域，我國80%的集成電路芯片制造裝備、40%的大型石化裝備、70%的汽車制造關(guān)鍵設(shè)備及先進集約化農(nóng)業(yè)裝備依然依靠進口。這其中，集成電路芯片制造裝備尤其“卡脖子”，沒有頂尖的光刻機，是我國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的最大瓶頸，成為當(dāng)下國人最大的一塊心病。

前段時間，荷蘭半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備制造商ASML向客戶交付了一臺新一代的EUV光刻機，ASML新一代的EUV光刻機，售價高達1.45億美元，折合成人民幣大約9.3億元，即使是財大氣粗的某位地產(chǎn)大佬，也要至少九個“億元小目標(biāo)”才能實現(xiàn)。

但是對于不差錢的芯片巨頭來說，花9.3億元買一臺高端的EUV光刻機，也是非常劃算的，因為能帶來更高的經(jīng)濟效益。根據(jù)ASML官方披露的數(shù)據(jù)顯示，在產(chǎn)能方面，新一代的EUV光刻機，相較于舊款而言，提高了近20%，而且精度更是提升了30%！這意味著新一代的EUV光刻機比老款更為高端。

值得一提的是，在整個芯片的制造流程中，最重要的便是光刻工藝，因為光刻是直接確定芯片關(guān)鍵尺寸的一步，所以其在整個過程中，約占總成本的35%。據(jù)悉，一臺EUV光刻機每小時可以處理200片12寸晶圓。以此類推，其一天在飽和工作的狀態(tài)下，可以處理4800片12寸晶圓，一年便是1752000片12寸晶圓。當(dāng)然，無法做到全年無休，所以按照一天工作12個小時保守估計，那么一年下來就是876000片12寸晶圓。一塊12寸的晶圓可以生產(chǎn)650片麒麟芯片，一年的話，一臺光刻機可以生產(chǎn)大約5.6億麒麟9000芯片，單顆麒麟9000的總成本約為44.7美元，按照成本計算一臺光刻機產(chǎn)值在876億美元。

據(jù)悉，光刻機的曝光分辨率與波長直接相關(guān)，半個多世紀(jì)以來，光刻機光源的波長不斷縮小，芯片工業(yè)界公認的新一代主流光刻技術(shù)是采用波長為13.5納米光源的EUV（極紫外光源）光刻。大功率的EUV光源是EUV光刻機的核心基礎(chǔ)。簡而言之，光刻機需要的EUV光，要求是波長短，功率大。EUV光刻機工作相當(dāng)于用波長只有頭發(fā)直徑一萬分之一的極紫外光，在晶圓上“雕刻”電路，最后將讓指甲蓋大小的芯片包含上百億個晶體管，這種設(shè)備工藝展現(xiàn)了人類科技發(fā)展的頂級水平，而昂貴的EUV光刻機也正是實現(xiàn)5nm的關(guān)鍵設(shè)備。

ASML是在20世紀(jì)90年代從荷蘭綜合企業(yè)巨頭荷蘭皇家飛利浦中分拆出來的公司，總部設(shè)在靠近比利時邊境的韋爾德霍芬。目前，荷蘭ASML是全球唯一一家能夠量產(chǎn)EUV光刻機的廠商，而由于禁令，我國中芯國際訂購的一臺EUV仍未到貨。

前段時間ASML正式對外公布的2021年第二季度的財報，相關(guān)數(shù)據(jù)顯示，2021年第二季度ASML實現(xiàn)凈銷售額40.20億歐元，同比增長20.90%，凈利潤為10.38億歐元，同比增長38.22%，并且訂單總價值高達83億歐元。這份成績足以證明ASML的實力，它的客戶可謂是遍布全球。其中EUV極紫外光刻機就有49億歐元，而總的積壓訂單金額已達175億歐元。

靠山山倒，靠人人跑，只有自己最可靠。核心工藝和裝備只有掌握在我們自己手中，才能避免受制于人。路漫漫其修遠兮，我國要想在光刻機領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)完全自主國產(chǎn)化，還有很長的路要走。

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寧要光刻機，不要印鈔機？ASML的EUV光刻機到底有多變態(tài)

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