網(wǎng)易科技消息，9月17日，北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科“）于科創(chuàng)板成功過會。

華卓精科主營業(yè)務(wù)為超精密測控設(shè)備，產(chǎn)品包括精密運動系統(tǒng)、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤、晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等，主要應(yīng)用于集成電路制造、超精密制造、光學(xué)、醫(yī)療等行業(yè)。

被譽為國產(chǎn)光刻機“第一股”的華卓精科，雖然不生產(chǎn)光刻機整機，但華卓精科生產(chǎn)的光刻機核心子系統(tǒng)雙工件臺（光刻機的3大核心部件之一），是除荷蘭ASML以外全球唯一掌握光刻機雙工件臺技術(shù)的。華卓精科是國內(nèi)首家自主研發(fā)并實現(xiàn)光刻機雙工件臺商業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)，也是國內(nèi)光刻機龍頭上海微電子的供應(yīng)商。

據(jù)了解，華卓精科科創(chuàng)板IPO在2020年6月24日獲得受理，之后在當(dāng)年7月23日進入問詢狀態(tài)，之后公司排隊逾一年時間。2021年7月29日，上交所官網(wǎng)披露消息顯示，北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“卓精科”）科創(chuàng)板IPO遭暫緩審議。

據(jù)悉，華卓精科本次擬發(fā)行股票不超過3200萬股，募集資金約7.35億元，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造項目、超精密測控產(chǎn)品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心建設(shè)、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術(shù)研發(fā)項目等。

華卓精科的董事、核心技術(shù)人員、首席科學(xué)家朱煜為公司的控股股東和實際控制人，其實際控制股份比例為54.23%。上會稿顯示，朱煜為清華大學(xué)長聘教授，華卓精科的一眾高管也都有清華背景。