英諾賽科于2021年引入ASML光刻機，憑借著其卓越的成像性能和獨特的TWINSCAN架構(gòu)（雙晶圓工件平臺），英諾賽科進(jìn)一步提升了硅基氮化鎵功率器件制造的產(chǎn)能及產(chǎn)線良率。

英諾賽科首席執(zhí)行官孫在亨表示：“我們在今年第二季度引進(jìn)了ASML光刻機，改善了光刻工藝窗口，進(jìn)一步提高了產(chǎn)能和產(chǎn)線良率，帶來了可觀的成本效益。在設(shè)備入駐后，雙方技術(shù)團(tuán)隊密切合作，通過現(xiàn)場驗證和快速迭代，技術(shù)挑戰(zhàn)迎刃而解，在短短三個月內(nèi)實現(xiàn)試生產(chǎn)，最終在10月進(jìn)入正式量產(chǎn)階段。通過與半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)跑者ASML的合作，加快了英諾賽科產(chǎn)品推向市場的速度，助力了氮化鎵半導(dǎo)體的蓬勃發(fā)展。”

“我們很榮幸能成為英諾賽科的合作伙伴，并為此次得獎感到自豪。英諾賽科的蓬勃發(fā)展反映了第三代半導(dǎo)體近年來的突飛猛進(jìn)和長期的發(fā)展?jié)摿?rdquo;沈波說，“ASML一直致力于以領(lǐng)先的光刻技術(shù)為客戶提供不懈的支持和服務(wù)，以推動整個半導(dǎo)體行業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展。我們將繼續(xù)為英諾賽科的持續(xù)發(fā)展提供先進(jìn)的技術(shù)和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。”

ASML 深紫外光刻業(yè)務(wù)資深副總裁Ron Kool表示：“我們也欣喜地看到ASML TWINSCAN的卓越性能首次在8英寸硅基氮化鎵芯片制造領(lǐng)域得到驗證。我們完全有信心支持英諾賽科未來的持續(xù)增長。”