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資本蜂擁的碳化硅襯底市場,各大項目進展如何?

已有16793次閱讀2022-05-31標簽:

 碳化硅作為第三代化合物半導體的重要代表,近年來已然成為企業(yè)重金押寶的一大熱門賽道。其中,碳化硅襯底雖然技術制程非常復雜,但其對碳化硅晶圓的產(chǎn)能有著至關重要的影響,且具有更高的產(chǎn)品附加值,國內(nèi)外企業(yè)紛紛加大對碳化硅襯底的研發(fā)和生產(chǎn)。


但分析指出,碳化硅等第三代半導體關鍵襯底材料生長條件困難、工藝難度大、技術門檻高,將成為碳化硅下游產(chǎn)能的關鍵制約點。目前關鍵技術仍掌握在Wolfspeed、羅姆、II-VI、意法半導體等國際IDM大廠手中,國內(nèi)外技術仍存在不小的差距。


可喜的是,近幾年,國內(nèi)對第三代半導體產(chǎn)業(yè)的投資熱度居高不下。僅就碳化硅襯底而言,在2022年上半年,就有多家企業(yè)宣布加碼投資,而原有的碳化硅襯底項目也在2022年上半年取得新進展。

2022年上半年

新增/規(guī)劃新增碳化硅襯底項目

 

襯底是碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈極為關鍵的一環(huán),國內(nèi)擁有相關技術的企業(yè)數(shù)量并不多。且半導體產(chǎn)業(yè)自身存在高風險、高投入、高技術門檻、長周期等特點,產(chǎn)業(yè)布局需要有序推進,企業(yè)在擴產(chǎn)時更需冷靜,因此,2022年上半年新增/規(guī)劃新增的碳化硅項目并不多。


據(jù)化合物半導體市場不完全統(tǒng)計,2022年上半年,國內(nèi)新增/規(guī)劃新增的碳化硅襯底項目主要有:

 

圖表1.2022年上半年

國內(nèi)新增/規(guī)劃新增的碳化硅襯底項目

 

其中,晶盛機電在2022年3月宣布將碳化硅襯底晶片生產(chǎn)基地項目從增發(fā)預案中刪除,后續(xù)擬使用自有資金及其他融資方式投入,不影響未來碳化硅整體布局和發(fā)展。


晶盛機電原擬募資不超過57億元,投向碳化硅襯底晶片生產(chǎn)基地項目、12英寸集成電路大硅片設備測試實驗線項目、年產(chǎn)80臺套半導體材料拋光及減薄設備生產(chǎn)制造項目以及補充流動資金。


據(jù)悉,晶盛機電創(chuàng)建于2006年12月,目前已組建原料合成+長晶+切磨拋的中試產(chǎn)線,,并完成6-8英寸長晶熱場和設備開發(fā),產(chǎn)出6英寸襯底,在總厚度變化率(TTV)可穩(wěn)定達到<3μm。


另一方面,在新增/規(guī)劃新增項目之外,原有的碳化硅襯底項目也在2022年上半年迎來新進展。

碳化硅襯底項目喜迎新進展

 

據(jù)化合物半導體市場不完全統(tǒng)計,2022年上半年公布新進展的碳化硅襯底項目主要有:

 

圖表2.2022年上半年碳化硅襯底項目進展


其中,天岳先進是國內(nèi)“碳化硅第一股”,其山東濟南、濟寧的碳化硅襯底生產(chǎn)基地主要生產(chǎn)半絕緣型襯底;上海臨港項目則定位為6英寸導電型碳化硅襯底生產(chǎn)基地,滿足下游電動汽車、新能源并網(wǎng)、智能電網(wǎng)、儲能、開關電源等碳化硅電力電子器件應用領域的廣泛需求。


值得一提的是,上海臨港項目已納入國家布局,且被上海市政府列為2021年、2022年上海市重大建設項目。


天科合達于2006年9月由新疆天富集團、中國科學院物理研究所共同設立。公司總部位于北京市大興區(qū),擁有一個研發(fā)中心和一個集晶體生長-晶體加工-晶片加工-清洗檢測于一體的全套碳化硅晶片生產(chǎn)基地;全資子公司新疆天科合達藍光半導體有限公司位于新疆石河子市,主要進行碳化硅晶體生長。


目前,天科合達已重啟IPO,現(xiàn)正接受中金公司的上市輔導。


露笑科技自2020年以來先后兩次募資,均投向碳化硅項目。第一次是在2020年4月,于2021年3月完成,實際募集資金6.43億元,投向新建碳化硅襯底片產(chǎn)業(yè)化項目、碳化硅研發(fā)中心項目和償還銀行貸款。


2021年11月,露笑科技發(fā)布了《2021年度非公開發(fā)行A股股票預案》。2022年5月16日,該預案獲審核通過,露笑科技擬募資25.67億,用于第三代功率半導體(碳化硅)產(chǎn)業(yè)園項目、大尺寸碳化硅襯底片研發(fā)中心項目和補充流動資金。


對于前后兩次募投項目的區(qū)別,露笑科技表示,2021年的募投項目是前次募投項目的延伸與拓展。據(jù)悉,露笑科技在2020年度募資建設6英寸導電型碳化硅襯底片和4英寸半絕緣型碳化硅襯底片項目的基礎上,擬再次通過非公開發(fā)行股票的方式,募集資金擴大6英寸導電型碳化硅襯底片的產(chǎn)能規(guī)模。


項目進度方面,2022年4月1日晚,露笑科技在披露增發(fā)事項的二次反饋意見回復中提及,“新建碳化硅襯底片產(chǎn)業(yè)化項目”“碳化硅研發(fā)中心項目”兩個募投項目正在有序推進中,進度符合預期。

SiC市場將迎高速成長

國內(nèi)廠商存廣闊替代空間

 

第三代半導體被賦予戰(zhàn)略意義,并在2021年列入十四五規(guī)劃后,迅速成為超級風口。其中,碳化硅作為第三代半導體的“課代表”,市場發(fā)展十分迅速。


碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中,襯底材料技術難度高、成本占比高。就發(fā)展水平而言,盡管目前國內(nèi)在襯底環(huán)節(jié)已涌現(xiàn)出不少有代表性的企業(yè),但國內(nèi)外在碳化硅襯底方面存在的技術差距,卻非一朝一夕可以逆轉(zhuǎn)。


據(jù)了解,目前國內(nèi)主要以4英寸碳化硅襯底為主,部分企業(yè)雖已在6英寸領域取得突破,但良率仍存在差距;國際一線大廠則以6英寸為主,多家廠商已實現(xiàn)了6英寸碳化硅襯底的穩(wěn)定供應。


差距在8英寸碳化硅襯底上更為明顯。


國際企業(yè)方面,Wolfspeed、羅姆、II-VI均在2015年就已展示了8英寸碳化硅襯底,其中Wolfspeed還在2019年5月宣布投入10億美元(約64.6億人民幣)建設新工廠,并在今年4月開始生產(chǎn)8英寸碳化硅等產(chǎn)品;英飛凌2020年9月宣布其8英寸 SiC晶圓生產(chǎn)線已經(jīng)建成;羅姆旗下SiCrystal公司預計2023年左右開始量產(chǎn)8英寸襯底、2025年量產(chǎn)8英寸SiC器件;Soitec在2022年5月發(fā)布了8英寸碳化硅襯底產(chǎn)品,其還在2022年3月啟動新晶圓廠建設計劃,將用于6英寸、8英寸SmartSiC晶圓制造,預計2023年下半年建成投產(chǎn)……


可以看到,國際企業(yè)對于8英寸碳化硅襯底的量產(chǎn)已提上日程。相較之下,天科合達、天岳先進、中科院物理研究所等中國企業(yè)/科研機構(gòu)則仍處于8英寸碳化硅襯底的研發(fā)階段。


但也有例外。2020年10月,據(jù)山西日報報道,中電科旗下山西爍科晶體公司完全掌握4-6英寸襯底片“切、磨、拋”工藝,同時8英寸襯底片已經(jīng)研發(fā)成功;2022年1月,爍科晶體實現(xiàn)8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產(chǎn)。


可以看到,盡管存在差距,但中國正在加速追趕。另一方面,盡管碳化硅在5G、雷達、國防軍工、新能源汽車、光伏、軌道交通、儲能等領域的應用前景十分廣闊,但碳化硅的下游應用目前大多處于研發(fā)階段,碳化硅襯底現(xiàn)正處于爆發(fā)式增長的前夜,大量資金在此刻涌入,有望縮短中外之間存在的技術差距,在碳化硅實現(xiàn)大規(guī)模應用之時,在一定程度上實現(xiàn)國產(chǎn)化替代。

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