據(jù)悉，SiC晶錠PVT生長(zhǎng)設(shè)備對(duì)于制造SiC晶錠來(lái)說(shuō)至關(guān)重要，而到目前為止，美國(guó)、日本和歐洲設(shè)備廠商占據(jù)了主導(dǎo)地位，而且僅價(jià)格本身就可達(dá)數(shù)百億韓元。為此，韓國(guó)本土廠商也在積極尋求關(guān)鍵技術(shù)和產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化替代，打破國(guó)外廠商長(zhǎng)期壟斷的局面。
在此背景下，ESTech決定自主開(kāi)發(fā)SiC PVT設(shè)備，以應(yīng)對(duì)強(qiáng)勁的功率半導(dǎo)體市場(chǎng)需求和SiC產(chǎn)品需求，并助力SiC設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化�；诎雽�(dǎo)體晶圓設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn)，ESTech聚焦韓國(guó)國(guó)產(chǎn)器件領(lǐng)域，采用精密控制技術(shù)開(kāi)發(fā)SiC生長(zhǎng)成套設(shè)備，并確保機(jī)械可靠性。
據(jù)介紹，ESTech開(kāi)發(fā)的設(shè)備能夠生產(chǎn)8英寸單晶SiC晶錠，大于目前市場(chǎng)主流的4英寸和6英寸晶錠。該公司已于12日宣布將于今年下半年向Senic供應(yīng)SiC晶錠PVT生長(zhǎng)爐。
報(bào)道顯示，ESTech向全球眾多晶圓制造商供應(yīng)單晶硅晶錠PVT設(shè)備，積極聯(lián)合本地和外國(guó)企業(yè)開(kāi)發(fā)8英寸、12英寸單晶硅晶錠PVT生長(zhǎng)設(shè)備，借此逐步確立了市場(chǎng)地位，技術(shù)能力也獲得了廣泛的認(rèn)可。
本次SiC設(shè)備的成功國(guó)產(chǎn)化也得益于其在硅晶錠PVT生長(zhǎng)爐市場(chǎng)所積累的技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)。隨著ESTech進(jìn)軍SiC市場(chǎng)，ESTech預(yù)計(jì)將擴(kuò)大設(shè)備產(chǎn)品組合，多元化利潤(rùn)增長(zhǎng)渠道。
作為合作方，Senic正在開(kāi)發(fā)SiC襯底產(chǎn)品以滿足功率半導(dǎo)體客戶及電動(dòng)汽車(chē)市場(chǎng)客戶的需求，并表示將聯(lián)合國(guó)內(nèi)企業(yè)共同為振興韓國(guó)SiC材料市場(chǎng)添磚加瓦。
Senic據(jù)稱(chēng)是韓國(guó)唯一一家擁有6英寸SiC襯底生產(chǎn)工藝技術(shù)的企業(yè)。去年，Senic向SKC采購(gòu)SiC材料技術(shù)和設(shè)備，并獲得SiC相關(guān)人力資源支持，主要生產(chǎn)電動(dòng)汽車(chē)用的高附加值SiC襯底。本月初，Senic宣布其6英寸SiC襯底工廠開(kāi)始全面投產(chǎn)，目標(biāo)在2024年下半年市場(chǎng)相關(guān)產(chǎn)品的量產(chǎn)。
現(xiàn)階段，Senic決定與ESTech合作，實(shí)現(xiàn)單晶SiC襯底的大規(guī)模生產(chǎn)。通過(guò)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，ESTech也成功開(kāi)發(fā)了8英寸SiC晶錠生長(zhǎng)設(shè)備。據(jù)悉，雙方目前正在對(duì)原型產(chǎn)品展開(kāi)測(cè)試工作。
韓媒表示，若Senic采用ESTech的設(shè)備開(kāi)始量產(chǎn)SiC襯底，那么此次雙方的合作將對(duì)韓國(guó)那些合力發(fā)展下一代功率半導(dǎo)體的企業(yè)起到示范作用。從宏觀的角度來(lái)看，兩大實(shí)力企業(yè)的合作也符合韓國(guó)目前在發(fā)展新興產(chǎn)業(yè)方面的戰(zhàn)略。
近兩年來(lái)，韓國(guó)高舉SiC/GaN第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大旗，從政策上不斷加大“籌碼”，貫通全產(chǎn)業(yè)鏈，完善上下游的布局，旨在增強(qiáng)韓國(guó)在全球第三代半導(dǎo)體市場(chǎng)的話語(yǔ)權(quán)。例如，韓國(guó)今年正式成立了SiC產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，全方位發(fā)力功率半導(dǎo)體市場(chǎng)。
在此背景下，8英寸SiC單晶生長(zhǎng)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化對(duì)于韓國(guó)來(lái)說(shuō)的確有著重要的意義，表明韓國(guó)在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域又取得了一項(xiàng)突破性的進(jìn)展。對(duì)于其他國(guó)家來(lái)說(shuō)，此舉也有可能加速各國(guó)在SiC領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，從而在一定程度上改變?cè)械母?jìng)爭(zhēng)格局。
但無(wú)論如何，最終利好的還是SiC本身。無(wú)論是技術(shù)的進(jìn)步，還是市場(chǎng)格局的重塑，都有利于SiC的大規(guī)模商用化，助力推動(dòng)SiC加速滲透新能源汽車(chē)、工業(yè)應(yīng)用等高成長(zhǎng)性市場(chǎng)
