該公司的 Centura Sculpta 機(jī)器——一種所謂的圖案塑造系統(tǒng)——可以讓客戶減少他們花在光刻上的時(shí)間，光刻是使用光將線刻入硅的過(guò)程。應(yīng)用材料公司周二（2 月 28 日）表示，光刻技術(shù)變得越來(lái)越復(fù)雜和昂貴，新方法將有助于簡(jiǎn)化芯片生產(chǎn)，同時(shí)減少浪費(fèi)。

此舉有可能破壞由 ASML 機(jī)器主導(dǎo)的光刻市場(chǎng)。盡管 Applied Materials 并未直接挑戰(zhàn)該公司，但它正試圖重新思考該行業(yè)制造芯片的方式——通過(guò)在硅盤(pán)上沉積材料制造的微型電子元件。

截至紐約時(shí)間下午 3 點(diǎn) 18 分，應(yīng)用材料公司股價(jià)上漲 4.3% 至 116.86 美元。ASML 在阿姆斯特丹下跌 1.9% 至 584 歐元（833 新元）。

光刻使用光在晶圓上印刷圖案，晶圓是用于芯片制造的閃亮圓盤(pán)。每個(gè)晶圓可能會(huì)發(fā)生此過(guò)程數(shù)十次。每一次，晶圓都要經(jīng)過(guò)一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程，沉積材料，測(cè)量以確保圖案被正確印刷，然后蝕刻材料以制造晶體管和其他物品，并清洗晶圓以重新開(kāi)始。

隨著電路縮小到小于大多數(shù)光源波長(zhǎng)的尺寸，該工藝的光刻階段變得越來(lái)越困難。

ASML 的極紫外機(jī)器能夠處理尖端半導(dǎo)體的這些任務(wù)，這對(duì)這家荷蘭公司來(lái)說(shuō)是一個(gè)豐厚的收入來(lái)源。自 2019 年以來(lái)，銷(xiāo)售額幾乎翻了一番，預(yù)計(jì) ASML 今年的收入將增長(zhǎng) 25%。將其與芯片設(shè)備行業(yè)的其他行業(yè)進(jìn)行比較，由于客戶應(yīng)對(duì)庫(kù)存過(guò)剩，芯片設(shè)備行業(yè)正在為銷(xiāo)售收縮做準(zhǔn)備。

ASML 的機(jī)器是該行業(yè)中最昂貴的機(jī)器之一，在該行業(yè)中，每臺(tái)設(shè)備的成本很容易超過(guò) 1000 萬(wàn)美元。但是 ASML 的方法有缺點(diǎn)。芯片的某些部分需要所謂的多重圖案化——在整個(gè)過(guò)程中運(yùn)行兩次或更多次才能達(dá)到預(yù)期的結(jié)果。

Applied Materials 的新工具，稱為 Centura Sculpta，用于為第一個(gè)圖案僅照射一次光，并從中雕刻出最終圖案。新機(jī)器將通過(guò)使用電激活化學(xué)技術(shù)來(lái)完成這部分過(guò)程，從而消除對(duì)某些多重圖案化的需要。

“我們實(shí)際上創(chuàng)造了一種等離子體，我們通過(guò)靜電將其塑造成我們所說(shuō)的帶狀束，”負(fù)責(zé)開(kāi)發(fā)該產(chǎn)品的團(tuán)隊(duì)的史蒂文謝爾曼向路透社解釋道。“我們以一定角度將其引導(dǎo)至晶圓，在那里我們……非常精確地以一定的精度去除材料，以改變晶圓上圖案的形狀。”

Sherman 說(shuō)，即使消除一個(gè)光刻周期也可以節(jié)省資金、能源和水，據(jù)估計(jì)，每次在工藝中使用 Centura Sculpta，芯片制造商可以為每月可處理 100,000 片晶圓的制造設(shè)施節(jié)省約 2.5 億美元的資本成本.

Applied Materials 執(zhí)行官 Prabu Raja 在一份聲明中說(shuō)，這個(gè)想法是為了“補(bǔ)充”紫外光刻，“同時(shí)也應(yīng)對(duì)先進(jìn)芯片制造日益增長(zhǎng)的經(jīng)濟(jì)和環(huán)境挑戰(zhàn)”。

Cowen & Co 分析師 Krish Sankar 表示，新工具可以為應(yīng)用材料公司增加 2 億美元至 3 億美元的年銷(xiāo)售額，但不會(huì)在短期內(nèi)削弱 ASML 的極紫外收入。

據(jù) Applied Materials 稱，如果采用該系統(tǒng)的芯片制造商運(yùn)行一條每月可處理 100,000 片晶圓的生產(chǎn)線，他們將節(jié)省多達(dá) 2.5 億美元的資本成本。每個(gè)晶圓的成本將降低約 50 美元，需要的能量減少 15 千瓦時(shí)。該公司表示，它還需要減少 15 升水，從而減少 0.35 公斤的二氧化碳排放量。

新產(chǎn)品的主要目標(biāo)是生產(chǎn)所謂的高級(jí)邏輯——大量、復(fù)雜的芯片，例如用于 AI 的 Nvidia 圖形處理器。只有三家公司專(zhuān)門(mén)從事這種類(lèi)型的生產(chǎn)：臺(tái)積電、三星電子和英特爾。

這些公司加在一起構(gòu)成了芯片制造商設(shè)備支出的大部分，占應(yīng)用材料和 ASML 銷(xiāo)售額的一半以上。

Applied Materials 稱英特爾是一家已經(jīng)采用新方法的公司。

“英特爾將部署模式塑造能力，以幫助我們降低設(shè)計(jì)和制造成本、流程周期時(shí)間和環(huán)境影響，”英特爾高管 Ryan Russell 在聲明中表示。