2023年3月29日（德國(guó)時(shí)間），為半導(dǎo)體光刻設(shè)備制造光學(xué)元件的卡爾蔡司半導(dǎo)體制造技術(shù)公司（以下簡(jiǎn)稱蔡司SMT）將在其位于德國(guó)黑森州韋茨拉爾的工廠開始建設(shè)新的光學(xué)元件工廠，以生產(chǎn)DUV（深紫外）光刻設(shè)備。它計(jì)劃于2025年完成。

ZEISS SMT 是德國(guó)領(lǐng)先的光學(xué)設(shè)備制造商 Carl Zeiss 的子公司，為半導(dǎo)體光刻設(shè)備提供光學(xué)元件和光掩模系統(tǒng)以及過(guò)程控制解決方案。光學(xué)元件提供給荷蘭半導(dǎo)體曝光設(shè)備制造商ASML，蔡司SMT表示，“全球80%以上的微芯片都是使用我們的光學(xué)元件制造的。”

ZEISS SMT 的 Wetzlar 工廠已經(jīng)為 DUV 光刻設(shè)備制造光學(xué)元件超過(guò) 20 年。），由于對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備的需求正在增加，現(xiàn)有的制造能力已經(jīng)達(dá)到極限，所以蔡司唯有擴(kuò)建。據(jù)介紹，新工廠的總生產(chǎn)面積將超過(guò)12,000平方米，將額外創(chuàng)造150個(gè)工作崗位。該工廠將為最新的 DUV 光刻設(shè)備制造和開發(fā)光學(xué)元件。

該公司還于2023年3月22日宣布，將擴(kuò)建位于德國(guó)黑森州羅斯多夫的研發(fā)基地。它計(jì)劃到 2026 年底投資超過(guò) 2000 萬(wàn)歐元。該中心專注于納米結(jié)構(gòu)研究和開發(fā)以納米精度修復(fù)光掩模缺陷的系統(tǒng)。

半導(dǎo)體制造技術(shù)正在塑造微電子時(shí)代。蔡司半導(dǎo)體制造設(shè)備能讓微芯片變得更小、更強(qiáng)大、更節(jié)能、更經(jīng)濟(jì)。

蔡司是微芯片生產(chǎn)設(shè)備和模塊的全球先進(jìn)供應(yīng)商。通過(guò)半導(dǎo)體制造光學(xué)系統(tǒng)、光掩模解決方案和工藝控制解決方案，蔡司為微芯片生產(chǎn)過(guò)程中的光刻、光掩模制造和失效分析提供重要技術(shù)。計(jì)算機(jī)技術(shù)的進(jìn)步在很大程度上依賴于光刻技術(shù)的不斷發(fā)展——每次推出的新一代技術(shù)皆能夠在微型芯片上生產(chǎn)出更精細(xì) 的結(jié)構(gòu)。這使得電路更緊湊，每年能生產(chǎn)出更強(qiáng)大、更節(jié)能和更具成本效益的微芯片。蔡司從一開始就一直推動(dòng)半導(dǎo)體 制造技術(shù)的發(fā)展。蔡司新推出的極紫外（EUV）光刻技術(shù)，創(chuàng)造了一系列世代的具有更高集成密度和更強(qiáng)性能的微芯片。