中國內(nèi)地共建有12英寸晶圓廠45座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)238萬片，萬片），實(shí)際產(chǎn)量約在125-140萬片之間；在建24座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)125萬片（其中外資在建18萬片）；規(guī)劃興建或改造13座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)57萬片（其中外資規(guī)劃5萬片）；全部產(chǎn)能合計(jì)420萬片（其中外資產(chǎn)能77萬片）。

中國內(nèi)地共建有8英寸晶圓廠34座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)168萬片，已經(jīng)裝機(jī)產(chǎn)能152萬片（其中外資裝機(jī)35萬片），實(shí)際產(chǎn)量約在140萬片左右；在建5座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)20萬片；規(guī)劃興建或改造11座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)32萬片；全部產(chǎn)能合計(jì)220萬片。

中國內(nèi)地共建有6英寸晶圓廠48座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)264萬片，已經(jīng)裝機(jī)產(chǎn)能206萬片，實(shí)際產(chǎn)量約在180萬片左右；在建4座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)21萬片；規(guī)劃興建或改造6座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)34萬片；全部產(chǎn)能合計(jì)319萬片。

中國內(nèi)地共建有5/4/3英寸晶圓廠63座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)730萬片(按4英寸計(jì)算)。

目前，中國內(nèi)地建設(shè)12英寸晶圓制造生產(chǎn)線城市的有20個(gè)，已經(jīng)投產(chǎn)的12英寸裝機(jī)產(chǎn)能分布按城市排名：無錫、北京、武漢、合肥、西安、上海位居前六位。

中國內(nèi)地建設(shè)8英寸晶圓制造生產(chǎn)線城市的有24個(gè)，已經(jīng)投產(chǎn)的12英寸裝機(jī)產(chǎn)能分布按城市排名：上海、天津、無錫、紹興、蘇州、杭州位居前六位。

本土12英寸晶圓制造裝機(jī)產(chǎn)能排名前五的公司（不考慮工藝水平，不包括存儲(chǔ)產(chǎn)能）：中芯國際、華虹集團(tuán)、晶合集成、士蘭微、粵芯。