近期,TMEIC中國為西部地區(qū)項目供應的首批高性能超導磁場和多功能電壓瞬時補償裝置均已順利上線。TMEIC中國憑借對半導體市場需求的深刻了解、成熟的技術(shù)實力以及完善的后期服務,為西部地區(qū)半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展構(gòu)筑質(zhì)量與安全雙重保障,為中國半導體產(chǎn)業(yè)的規(guī)模化與高質(zhì)量發(fā)展貢獻“芯”質(zhì)力量。
01 建廠后首批交付的TMEIC超導磁場
恒定磁場 提質(zhì)增效
半導體生產(chǎn)的前段工藝中,在拉晶爐中使用超導磁場可提高晶體硅質(zhì)量。TMEIC超導磁場(Magnetic field applied Czochralski,簡稱MCZ)采用鞍型線圈結(jié)構(gòu),構(gòu)成了廣范圍均一水平磁場,精準控制了坩堝內(nèi)融液的對流,防止了液面浮動造成的結(jié)晶缺陷,從而使半導體晶圓拉制過程能夠生產(chǎn)高質(zhì)量的單晶硅。
TMEIC MCZ具有磁場領(lǐng)域廣,分布均一,精確控氧等特性,能夠顯著提高晶棒的利用率和合格率,助力加速提升半導體制造工藝。通過為該項目提供超導磁場,TMEIC中國為西部地區(qū)轉(zhuǎn)型升級,引進集成電路產(chǎn)業(yè)鏈,促進信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展打下堅實基礎(chǔ)。

卓越團隊 零的突破


TMEIC中國團隊及MCZ設(shè)備在項目現(xiàn)場
02 TMEIC多功能電壓瞬時補償裝置確保項目供電穩(wěn)定
精細保電 提升良率
半導體制造聚焦于制程、良率、生產(chǎn)設(shè)備等。在產(chǎn)能爬坡過程中,良率的關(guān)鍵因素之一就是電能,每一枚微小器件也要經(jīng)過上千道工序,電源的暫升、暫降、中斷等都將給半導體器件帶來致命的打擊。同時,大量的高精尖生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)生巨大的電能消耗。
TMEIC中國為該項目引入超導磁場的同時,還配套提供了多功能電壓瞬時補償裝置(Multiple Power Compensator,簡稱MPC),為工廠的整個生產(chǎn)環(huán)節(jié)的供電提供安全保護,在電壓暫降、暫升甚至短時中斷時確保生產(chǎn)線供電穩(wěn)定。

TMEIC MPC性能參數(shù)優(yōu)異,最快1ms內(nèi)隔離斷開暫升,暫降,故障電流,實現(xiàn)高速、精準的電壓補償,為產(chǎn)品性能的提升和產(chǎn)能的擴大保駕護航。該解決方案自2002年在日本市場商用以來,創(chuàng)造了客戶負載電壓暫降零損失的非凡記錄。
TMEIC MPC高效節(jié)能,能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)備精細化保電,將電力保障從粗放無序提升到了精細有序的新高度。相比采用傳統(tǒng)依靠UPS進行保電的方案,工廠通過使用TMEIC設(shè)備,工廠的運行效率實現(xiàn)了顯著提升,鏈路中的故障點也明顯減少,系統(tǒng)可靠性得到提升。


TMEIC中國團隊及MPC設(shè)備在項目現(xiàn)場
集成電路是支持中國經(jīng)濟社會發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導性產(chǎn)業(yè),也是實現(xiàn)雙碳目標的重要助力。TMEIC中國將繼續(xù)深耕探索半導體工藝領(lǐng)域,在保持研發(fā)創(chuàng)新賦能企業(yè)數(shù)字化升級轉(zhuǎn)型的同時,在人才本地化、產(chǎn)品本地化和生產(chǎn)本地化基礎(chǔ)上,進一步實現(xiàn)市場和服務本地化,不斷推出更加適應中國消費者需求的產(chǎn)品和服務,為中國制造邁向中國“智”造注入不竭動能。









