應(yīng)用介紹
【行業(yè)】SEMI
【設(shè)備】EFEM
【用途】用于半導(dǎo)體前道各種工藝機臺的晶圓傳輸
使用場景
檢測cassette內(nèi)wafer是否有凸出，防止自動取片時發(fā)生異常。
場景： cassette內(nèi)wafer的凸出檢查
解決課題
應(yīng)對不同材質(zhì)wafer的檢測需求，例如：Si、SiC、Ga2O3等。
價值提案
核心產(chǎn)品：光纖傳感器 E32/E3NX-FA
配備自動調(diào)諧、以及APC&DPC自動投光&受光校正，方便快速對應(yīng)各種透明度的wafer。
