“MEMS的優(yōu)勢(shì)在于批量化的制造技術(shù)，成本低、便于集成、功耗低;但與此同時(shí)，MEMS傳感器也存在體積過小目前只能采用準(zhǔn)三維技術(shù)加工，加工精度相對(duì)較低的問題。因此，進(jìn)一步發(fā)展傳感技術(shù)，滿足市場(chǎng)需求時(shí)，應(yīng)當(dāng)注意采取措施揚(yáng)長(zhǎng)避短。比如針對(duì)傳感器難以實(shí)現(xiàn)通用的標(biāo)準(zhǔn)工藝問題，已有企業(yè)在著手開發(fā)特定領(lǐng)域的工藝標(biāo)準(zhǔn)，如MUMPs等;針對(duì)傳感器環(huán)境界面千差萬別，器件含可動(dòng)結(jié)構(gòu)、封裝難度大、成本高的問題，已有企業(yè)在開發(fā)圓片級(jí)封裝技術(shù)。通過圓片級(jí)封裝可有效降低后續(xù)封裝與組裝的難度，目前圓片級(jí)封裝已獲得廣泛應(yīng)用，很多Foundry均已推出WLP服務(wù)。此外，由于MEMS器件的密度低、工作頻率較低、可容忍一定的串聯(lián)電阻，對(duì)TSV的要求反而低于IC，因此目前TSV技術(shù)也已獲得一定應(yīng)用。”中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員、博士生導(dǎo)師楊恒介紹。
總結(jié)MEMS傳感器的技術(shù)趨勢(shì)，楊恒指出，相比于傳統(tǒng)技術(shù)，傳感器技術(shù)呈現(xiàn)出去單一功能化特征，朝著智能化、集成化方向發(fā)展。此外，數(shù)字化、網(wǎng)絡(luò)化、低成本、標(biāo)準(zhǔn)化也成為傳感器產(chǎn)品發(fā)展的總體趨勢(shì)。
政府企業(yè)攜手解決傳感產(chǎn)業(yè)小散難題
特別應(yīng)加強(qiáng)傳感器的可靠性設(shè)計(jì)，解決國(guó)內(nèi)產(chǎn)品可靠性不高的難題。
鑒于傳感器的廣泛市場(chǎng)應(yīng)用，已經(jīng)成為極為重要的電子器件，加大力度推進(jìn)發(fā)展勢(shì)在必行。此前，工業(yè)和信息化部便聯(lián)合科學(xué)技術(shù)部、財(cái)政部和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)發(fā)布了《加快推進(jìn)傳感器及智能化儀器儀表產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動(dòng)計(jì)劃》，提出2013～2025年總體發(fā)展目標(biāo)：傳感器整體水平跨入世界先進(jìn)行列，產(chǎn)業(yè)形態(tài)實(shí)現(xiàn)由“生產(chǎn)型制造”向“服務(wù)型制造”的轉(zhuǎn)變，涉及國(guó)防及重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)安全、重大工程所需的傳感器及智能化儀器儀表實(shí)現(xiàn)自主制造和自主可控，高端產(chǎn)品和服務(wù)市場(chǎng)占有率提高到50%以上。
不過，中國(guó)儀器儀表行業(yè)協(xié)會(huì)傳感器分會(huì)名譽(yù)理事長(zhǎng)徐開先表示，目前國(guó)產(chǎn)傳感器仍存在穩(wěn)定性、可靠性和一致性差，關(guān)鍵共性基礎(chǔ)技術(shù)研究長(zhǎng)期缺失;產(chǎn)業(yè)化問題未能得到很好解決，難以實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn);經(jīng)營(yíng)模式、市場(chǎng)機(jī)制不活，市場(chǎng)推廣應(yīng)用難度大，難以發(fā)揮資源、人才優(yōu)勢(shì)等問題。
而要解決上述問題，徐開先指出，一方面需要從國(guó)家政府層面協(xié)調(diào)處理：統(tǒng)籌我國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)布局;注重與國(guó)家重大專項(xiàng)與重點(diǎn)工程銜接;加強(qiáng)政府各部門之間的溝通協(xié)商;推動(dòng)“官產(chǎn)學(xué)研用”協(xié)同創(chuàng)新;發(fā)揮企業(yè)主體地位作用;助推行業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整，形成龍頭企業(yè)及“小而精、精而專、專而強(qiáng)”產(chǎn)業(yè)發(fā)展模式;加強(qiáng)標(biāo)準(zhǔn)、檢測(cè)、裝備平臺(tái)建設(shè)，鼓勵(lì)采用國(guó)產(chǎn)傳感器。
另一方面對(duì)傳感器設(shè)計(jì)制造部門來說，應(yīng)從產(chǎn)品、應(yīng)用市場(chǎng)、營(yíng)銷模式、基礎(chǔ)設(shè)施、專業(yè)人才協(xié)調(diào)等諸多方面綜合考慮，特別應(yīng)加強(qiáng)傳感器的可靠性設(shè)計(jì)，解決國(guó)內(nèi)產(chǎn)品可靠性不高的難題。首先應(yīng)確定可靠性指標(biāo)，可與產(chǎn)品功能、性能指標(biāo)一起確定。其次是建立可靠性模型、可靠性分配、可靠性分析、可靠性預(yù)測(cè)、可靠性設(shè)計(jì)評(píng)審，進(jìn)行試制產(chǎn)品可靠性試驗(yàn)，逐步設(shè)計(jì)改進(jìn)。
