圖 1 近場微探頭 ICRHH 150-27 是一款帶有水平測量線圈的探頭，用于磁場測量。測量分辨率為 50 µm，測量范圍為 1.5 GHz 至 6 GHz。
除了朗格爾電磁兼容技術(shù)有限公司的 ICR 型號近場微探頭之外，還可借助探頭支架 SH 01 將手持式探頭或場源置入到 ICS 105 之中（圖 2）。
使用不同的 ICR 近場微探頭，可在 (50x50x50) mm 的空間范圍內(nèi)分別對磁場或電場進(jìn)行測量，測量結(jié)果通過軟件 CS-Scanner 在電腦上顯示。此外，ICR 近場微探頭可通過旋轉(zhuǎn)軸自動旋轉(zhuǎn) 360°，以確定磁場的確切方向。借助視頻顯微鏡，可方便近場微探頭在測量目標(biāo)上的精確定位。ICS 105 檢測器的最小步進(jìn)值為 10μm，可實現(xiàn)極高分辨率的測量（圖 1）。
ICR 型近場微探頭適用于 1.5 MHz 至 6 GHz 頻率范圍內(nèi)的測量，可達(dá)到的測量分辨率約為 50μm。用于磁場測量的近場微探頭可提供兩種不同的基本規(guī)格。ICR HV 近場微探頭帶有垂直測量線圈，ICR HH 近場微探頭帶有水平測量線圈。ICR E 近場微探頭的探針頭包括一個水平電極，用于電場測量。
不同類型的近場微探頭配置齊全，確保在完成各類眾多實際測量任務(wù)時能夠選取最佳的探頭型號。
使用近場微探頭可以進(jìn)行下列測量：
- 根據(jù)標(biāo)準(zhǔn) IEC61967-3 進(jìn)行集成電路表面掃描
- 集成電路容量掃描
- 針腳掃描
在測量過程中，只在相應(yīng)測量目標(biāo)上方移動數(shù)個 ?m，確保精準(zhǔn)的近場數(shù)據(jù)采集。近場微探頭的外殼中內(nèi)置前置放大器，通過 Bias-Tee 偏置器供電。
圖 2 ICS 105 是一款桌上設(shè)備。緊湊的尺寸（350 x 400 x 420）mm和輕巧的重量（23 kg）令其能夠方便安放在開發(fā)人員的工作臺上。
集成電路檢測器 ICS 105 通過 USB 接口連接至電腦，通過朗格爾電磁兼容技術(shù)有限公司的軟件 ChipScan-Scanner（CS-Scanner，芯片掃描器）進(jìn)行控制（圖 3）�？梢酝ㄟ^軟件控制實現(xiàn)近場微探頭的移動以及復(fù)雜測量流程的編程。
圖 3 測量時 ICS 105 同頻譜分析儀和電腦相連。通過測量與分析軟件 CS-Scanner 對 ICS 105 進(jìn)行控制，對測量結(jié)果予以記錄。
由朗格爾電磁兼容技術(shù)有限公司研制的軟件 CS-Scanner 可實現(xiàn)對頻譜分析儀中的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行讀出、進(jìn)行圖像顯示（2D 或 3D，圖 4）、對測量數(shù)據(jù)的保存和輸出（CSV 文件格式）。頻譜分析儀上的最重要設(shè)置也可通過軟件進(jìn)行（圖 5 ）。
圖 4 軟件 ChipScan-Scanner 生成 3D 容積掃描
圖 5 軟件 CS-Scanner 的操作界面。右側(cè)為用于所連接頻譜分析儀的操作面板。左上方為測量圖表和跟蹤管理器，對所有已進(jìn)行的測量予以記錄。
輔以控制與分析軟件 ChipScan-Scanner 的集成電路檢測器 ICS 105
- 通過電腦/筆記本進(jìn)行控制
- 零點(diǎn)位置、近場微探頭手動或基于腳本的移動
- 從頻譜分析儀中讀出數(shù)據(jù)
- 測量數(shù)據(jù)的 2D 或 3D 圖形顯示
- 輸出成 csv 文件或圖形文件
- 在集成電路上進(jìn)行的自動測量：
- 根據(jù)標(biāo)準(zhǔn) IEC61967-3 進(jìn)行集成電路表面掃描
- 集成電路容量掃描
- 針腳掃描
