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歐姆龍開發(fā)MEMS絕對(duì)壓力傳感器

已有102952次閱讀2012-07-09標(biāo)簽:歐姆龍 壓力傳感器 樓宇
    歐姆龍株式會(huì)社研發(fā)了一款新型“絕對(duì)壓力傳感器”(※1),該傳感器能夠準(zhǔn)確檢測(cè)出50cm高度范圍內(nèi)的氣壓變化。絕對(duì)壓力傳感器應(yīng)用了歐姆龍核心技術(shù)之一的MEMS技術(shù),實(shí)現(xiàn)了世界頂級(jí)水平的高精度和低電流消耗,將于2013年1月開始發(fā)售。

   該絕對(duì)壓力傳感器,實(shí)現(xiàn)了CMOS回路與MEMS傳感器的工藝整合,實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)3.8mm×寬3.8mm、厚0.92mm的小型封裝,更易于應(yīng)用在移動(dòng)電話等小型設(shè)備中。

   適用于智能手機(jī)或運(yùn)動(dòng)計(jì)量器(※2)等機(jī)器的電池驅(qū)動(dòng)部件,有利于延長(zhǎng)電池的壽命。將該傳感器應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)計(jì)量器上,可以測(cè)算出上下樓梯等存在高度差的運(yùn)動(dòng)形式數(shù)據(jù),解決一直以來的難題。而應(yīng)用于汽車導(dǎo)航系統(tǒng)上,可以確保在立體停車場(chǎng)導(dǎo)航的精準(zhǔn)度以及識(shí)別一般道路和高架路。另外,由于能測(cè)定感知房門開啟或窗戶破碎等情況下產(chǎn)生的氣壓變化,也可應(yīng)用于安保領(lǐng)域。

   此外,CMOS MEMS一體化晶片也可銷售,旨在滿足與其他傳感器安裝在同一主板上等需求。

   今后,歐姆龍將憑借獨(dú)有的MEMS技術(shù)持續(xù)為社會(huì)做貢獻(xiàn)。

   本產(chǎn)品將于7月11日(周三)至7月15日(周五)在東京國際展覽中心舉辦的“第23屆微機(jī)械/MEMS展”上展出。

   商品詳情請(qǐng)登陸網(wǎng)站了解(http://www.omron.co.jp/ecb/index.html)。

(※1)絕對(duì)壓力傳感器,指以真空為0基準(zhǔn)的壓力檢測(cè)傳感器。
(※2)有別于普通的計(jì)步器,不僅可計(jì)量步數(shù),也用于計(jì)量中強(qiáng)度、低強(qiáng)度運(yùn)動(dòng)量及生活中的運(yùn)動(dòng)量(使用于掃除機(jī)、搬運(yùn)輕量物品、烹飪等)的測(cè)量?jī)x器。
■特點(diǎn)
1.小型封裝:長(zhǎng)3.8mm 寬3.8mm 高0.92mm。
2.小型芯片:CMOS回路與MEMS傳感器一體化,長(zhǎng)1.9 mm、寬1.9 mm、厚0.5mm。
3.300~1100hPa的廣泛測(cè)量范圍
4.相對(duì)壓力精度達(dá)到相當(dāng)于約50cm高度差所造成的氣壓變化6pa。
5.0.5~9.5uA的低電流消耗有利于延長(zhǎng)電池壽命。(※3)
6.內(nèi)含溫度傳感器,能夠輔助修正因傳感器周圍溫度變化所造成的氣壓變化。
7.采用I2C輸出方式,可串聯(lián)通信。
(※3)消耗電流依賴于測(cè)定條件及動(dòng)作模式。

■技術(shù)解說
1.檢測(cè)原理 
本公司的MEMS絕對(duì)壓力傳感器采用了針對(duì)血壓計(jì)中壓力傳感器研發(fā)的壓敏電阻方式。壓敏電阻方式,是使用了通過加載在電阻元件上的力度變化所產(chǎn)生的電阻變化即壓電效應(yīng),通過這一原理將壓力轉(zhuǎn)化為電流信號(hào)。
并且,為了測(cè)定大氣壓力變化,絕對(duì)壓力傳感器采用MEMS接合技術(shù),將傳感器芯片的內(nèi)部進(jìn)行真空密封。因此,能夠感知與真空狀態(tài)相比較大氣壓力的數(shù)值,也就是絕對(duì)壓力值。
2.技術(shù)特長(zhǎng)
該傳感器,將本公司長(zhǎng)年研發(fā)的各種技術(shù)功能集中在一個(gè)芯片中,包括半導(dǎo)體回路設(shè)計(jì)技術(shù)、CMOS工藝技術(shù)、MEMS技術(shù)、壓力傳感器、模擬增幅回路、數(shù)字處理回路、不揮發(fā)性存儲(chǔ)等。因此,實(shí)現(xiàn)了芯片的小型化、高機(jī)能化、耐噪性能的提升。
此外,該傳感器使用MEMS接合技術(shù),可擴(kuò)大傳感器芯片內(nèi)部的真空室容量,將傳感器的輸入動(dòng)態(tài)范圍最大化。從而實(shí)現(xiàn)高精度。

3.測(cè)定結(jié)果
結(jié)果能夠達(dá)到50cm的判別。

傳感器外觀

 
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